• Document: Московский государственный технический университет. имени Н. Э. Баумана. Сидорова Светлана Владимировна
  • Size: 7.68 MB
  • Uploaded: 2019-03-13 18:15:34
  • Status: Successfully converted


Some snippets from your converted document:

Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана На правах рукописи УДК 621.793.14 Сидорова Светлана Владимировна РАСЧЕТ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕЖИМОВ И ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ОСТРОВКОВЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ Специальность 05.27.06 – «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Научный руководитель – Панфилов Юрий Васильевич, доктор технических наук, профессор Москва – 2016 г. 2 Оглавление Стр. Введение………………… .............................................................................................. 5 Глава 1. Островковые тонкие пленки и наноструктуры ........................................... 14 1.1. Образование островковых тонких пленок ..................................................... 14 1.2. Актуальность применения островковых тонких пленок и наноструктур .. 17 1.3. Методы получения островковых тонких пленок и наноструктур ............... 27 1.4. Выводы по главе 1 ............................................................................................ 36 Глава 2. Физические и математические модели формирования и функционирования островковых тонких пленок....................................................... 37 2.1. Существующие модели роста островковых тонких пленок ........................ 37 2.2. Расчет времени образования островков ......................................................... 39 2.3. Технологические режимы формирования островковых тонких пленок в вакууме..................................................................................................................... 45 2.3.1. Формирование островковых тонких пленок термическим испарением ....................................................................................... 45 2.3.2. Формирование островковых тонких пленок магнетронным распылением ................................................................................. 47 2.4. Туннельный эффект ......................................................................................... 48 2.4.1. Токоперенос в металлических тонких пленках....................................... 50 3 Стр. 2.4.2. Электропроводность в металлических островковых тонких пленках .. 52 2.5. Постановка задачи экспериментальных исследований ................................ 54 2.6. Выводы по главе 2 ............................................................................................ 56 Глава 3. Технологическое и измерительное оборудование для формирования и контроля роста островковых тонких пленок .............................................................. 58 3.1. Обзор малогабаритного вакуумного оборудования модульного типа ....... 58 3.2. Вакуумное технологическое обо

Recently converted files (publicly available):